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我国装备业实现重大突破

本文摘要:读者提醒 9月28日,由北京北方微电子公司和北京中科信公司分担的国家“十五”863计划集成电路生产装备根本性专项“100纳米离子光刻机”和“100纳米离子注入机”项目成功通过科技部的组织的竣工验收,这标志着中国集成电路生产核心装备由此获得历史性突破。 3年横跨5个技术代 没先进设备的集成电路生产设备,就不有可能有自律先进设备的集成电路芯片产品。

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读者提醒  9月28日,由北京北方微电子公司和北京中科信公司分担的国家“十五”863计划集成电路生产装备根本性专项“100纳米离子光刻机”和“100纳米离子注入机”项目成功通过科技部的组织的竣工验收,这标志着中国集成电路生产核心装备由此获得历史性突破。  3年横跨5个技术代  没先进设备的集成电路生产设备,就不有可能有自律先进设备的集成电路芯片产品。

“九五”末期,我国集成电路装备的水平为6英寸500纳米,与当时国外*的8英寸100纳米差距5个技术代,国内所有8英寸以上生产线没一台国产设备。同时,集成电路生产装备企业为持久占领市场,对中国实施技术封锁和经济制裁遏止战略,后用高价掌控中国市场。

要挣脱领先看在眼里的困境,只有博爱。为此,北京市在科技部的反对下,大力发展集成电路装备产业。

2002年11月,北京市政府启动“100纳米高密度等离子光刻机与大角度离子注入机”项目。  “离子光刻机和离子注入机是芯片生产线上的关键设备。

所谓100纳米,所指的是硅材上刻有的小槽宽度,这个数值就越小,意味著芯片的*度和集成度越高。8英寸指硅片的大小,硅片越大,效率越高,但对技术拒绝也越高。相对于‘九五’末期的6英寸500纳米横跨了5个技术代。

”北方微电子公司涉及负责人告诉他记者。国外技术从500纳米发展到100纳米大角度用了10多年,而我国意味着用了3年多的时间。  “作为装备制造业和信息产业核心技术,国产离子光刻机和离子注入机构建突破,这大大提高了我国研发具备自律知识产权的集成电路生产装备的技术实力和自主创新能力,构建了集成电路装备制造业的跨越式发展。

”中科信公司涉及负责人在拒绝接受中国知识产权报记者专访时回应。同时,她还说道,生产装备的研发在每一代集成电路技术的改版中都扮演着技术先导的角色。

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国产装备使芯片生产企业降低生产成本的同时,能适当提升生产芯片的技术水平,消费者就能购买更加低廉的、更加先进设备的电子产品。更加最重要的是,我国高端集成电路核心设备构建零的突破,超越了国外对我国集成电路制造业装备的经济制裁遏止战略。  知识产权一路反潜  3年时间走完国外发达国家十几年的历程,毫无疑问是一段充满著故事的艰难之旅。

“其中,一个最重要的艰难是如何防止国外企业精心设计的专利陷阱,如何运用专利维护,打好专利战。”中科信公司知识产权工作的负责人向记者回应。

“在我们打算展开自律研发之后,国外竞争对手争相集中力量了在中国的专利部署,这给我们的工作带给了更大的挑战。”北方微电子公司负责人也回应。

  回应,中科信公司制订了专利战略方针:一要自律研发,先行申请专利;二要认同他人知识产权;三是勇于应诉维权。中科信公司负责人向记者概述了这样一个过程:“项目研制成功的第一道程序就是展开全面的专利文献检索,我们共计检索离子注入机专利430项。展开再行分析后,我们已完成了专利回避对策研究,并与涉及单位重新组建专利侵权行为应急小组。

同时向知识产权顾问和法律顾问展开咨询,既申请专利维护自己的知识产权,也有效地避免他人的知识产权。”  北方微电子公司也出了专门的知识产权部门,积极主动地筹设企业专利信息数据库,通过企业专利数据库信息系统,很好地构建专利文摘信息检索功能和统计分析功能,并展开多种研究方向的数据统计分析。据理解,北方微电子公司还是北京市2005年百家专利试点企业之一。

  此外,研发企业几经挑战后,也逐步认识到企业要在知识产权问题上夺得主动,显然的决心在于提升发明创造的能力和水平,谋求逐步在更好的领域中,尤其是集成电路装备这一高新技术领域中,占据自己的一席之地。记者通过检索得知,截至项目竣工验收,中科信公司共计申请专利137项,其中发明专利26项,实用新型专利111项,取得软件版权7项;北方微电子共计申请专利135项。  创意之路仍在之后  即使技术突破取得了引人注目的光环,但记者在专访中找到,项目研发人员依旧以平常心面临这一切成绩。

“高端集成电路核心设备产业化是一个崭新的开始,但后面的路还很长。”北方负责人慎重地回应:“设备改良、性能提升、关键部件的设施发展,这都是我们必须之后希望的。并且,目前国际技术已超过了65纳米的水平,这也是我们下一步的目标。

”  同时,中科信公司也回应,公司将要研制已完成12英寸100纳米大角度离子注入机,并且也正在研发65纳米大束流离子注入机,以保证能大大发售新产品,符合芯片生产企业产品升级、新一代所须要设备。


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